Тезис
ISO 14606:2015 gives guidance on the optimization of sputter-depth profiling parameters using appropriate single-layered and multilayered reference materials in order to achieve optimum depth resolution as a function of instrument settings in Auger electron spectroscopy, X-ray photoelectron spectroscopy and secondary ion mass spectrometry.
ISO 14606:2015 is not intended to cover the use of special multilayered systems such as delta doped layers.
Общая информация
-
Текущий статус: ОтозваноДата публикации: 2015-12Этап: Отмена международного стандарта [95.99]
-
Версия: 2
-
Технический комитет :ISO/TC 201/SC 4ICS :71.040.40
- RSS обновления
Жизненный цикл
-
Ранее
ОтозваноISO 14606:2000
-
Сейчас
-
00
Предварительная стадия
-
10
Стадия, связанная с внесением предложения
-
20
Подготовительная стадия
-
30
Стадия, связанная с подготовкой проекта комитета
-
40
Стадия, связанная с рассмотрением проекта международного стандарта
-
50
Стадия, на которой осуществляется принятие стандарта
-
60
Стадия, на которой осуществляется публикация
-
90
Стадия пересмотра
-
95
Стадия, на которой осуществляется отмена стандарта
-
00
-
Пересмотрен
ОпубликованоISO 14606:2022