Projet
Norme internationale
ISO/DIS 19383
Atomic layer deposition — Chemical characteristics and related process specifications of atomic layer deposition precursors
Numéro de référence
ISO/DIS 19383
Edition 1
© ISO 2025
Projet Norme internationale
Projet
Projet de Norme internationale au stade enquête auprès des membres de l’ISO.

Résumé

This document describes the chemical characteristics and related process specifications of the atomic layer deposition precursors, including assay content, metal purity, and anion content specification.

Informations générales

  • État actuel
     : Projet
    Stade
    : DIS enregistré [40.00]
  • Edition
     : 1
  • Comité technique :
    ISO/TC 107
    ICS :
    25.220.01 
  • RSS mises à jour

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