Проект
Международный стандарт
ISO/DIS 19383
Atomic layer deposition — Chemical characteristics and related process specifications of atomic layer deposition precursors
Ссылочный номер
ISO/DIS 19383
Версия 1
© ISO 2025
Проект Международный стандарт
В стадии разработки
Проект данного международного стандарта находится на этапе рассмотрения членами ИСО.

Тезис

This document describes the chemical characteristics and related process specifications of the atomic layer deposition precursors, including assay content, metal purity, and anion content specification.

Общая информация

  • Текущий статус
     : В стадии разработки
    Этап
    : Регистрация проекта международного стандарта (DIS) [40.00]
  • Версия
     : 1
  • Технический комитет :
    ISO/TC 107
    ICS :
    25.220.01 
  • RSS обновления

Жизненный цикл

Цели в области устойчивого развития

Данный стандарт разработан для достижения следующих Цель устойчивого развития

9
Индустриализация, инновации и инфраструктура

Появились вопросы?

Ознакомьтесь с FAQ

  2. Интернет-магазин
  3. Каталог стандартов
  4. МКС
  5. 25
  6. 25.220
  7. 25.220.01
  8. ISO/DIS 19383